Kriogena proizvodnja dušika-za polprevodnike

V visoko{0}}proizvodnji polprevodnikov sledi nečistoč v procesnem okolju-H₂O, O₂, CO₂ in THC-neposredno povzročijo napake na rezinah in izgubo izkoristka. Običajna -proizvodnja dušika na kraju samem se pogosto spopada z nihanji čistosti in večjo porabo energije, medtem ko se oskrba s tekočim dušikom sooča z negotovostmi v dobavni verigi in naraščajočimi logističnimi stroški. Kriogeno pridobivanje dušika-polprevodniške kakovosti obravnava te izzive s kriogeno destilacijo, ki neprekinjeno zagotavlja visoko{7}}čist dušik z vsebnostjo kisika pod 1 ppm iz enega samega drsnika, hkrati pa ohranja porabo energije na-vodilni ravni v industriji. Postal je standardni vir dušika za 12-palčne tovarne, napredne objekte za pakiranje in proizvodne linije sestavljenih polprevodnikov.

Načelo delovanja

Sistem deluje na kriogeno destilacijo zraka. Dovodni zrak je podvržen več{1}}stopenjski filtraciji in kompresiji za -rekuperacijo toplote, preden vstopi v reverzibilno ali molekularno{3}}čistilno enoto, kjer se odstranijo H₂O, CO₂ in ogljikovodiki. Prečiščeni zrak se postopoma ohladi na približno -170 stopinj do -196 stopinj znotraj frakcionirne kolone, kjer sta kisik in dušik ločena z razliko v vreliščih (kisik: -183 stopinj, dušik: -196 stopinj) s stalnim rektifikacijo v strukturiranem pakiranju. Dušik visoke čistosti se črpa z vrha kolone, medtem ko se odpadni plin, obogaten s kisikom, odvaja ali zbira na dnu. Turboekspander z zaprtim ciklom zagotavlja zmogljivost hlajenja; po zagonu sistem enakomerno deluje samo na elektriko in hladilno vodo, brez razpada adsorbenta ali skrbi občasnih zamenjav.

Specifikacije delovanja

Tipična poraba energije (pri 1.000 Nm³/h, 0,6 MPaG):

• Specifična moč: 0,28 ~ 0,32 kWh/Nm³
• Hladilna voda: približno. 45 t/h (Δt=8 stopinj)
• Instrumentalni zrak: manj kot ali enako 5 Nm³/h

V primerjavi z običajnimi konfiguracijami z dvema-stebroma ta sistem dosega približno 8 %–12 % manjšo porabo energije na enoto z visoko{3}}učinkovitim ojačevalnim turboekspanderjem in optimizirano notranjostjo stebra.

Tehnični podatki (tipični model)

Vrednosti temeljijo na standardnih projektnih pogojih; dejanske številke se lahko razlikujejo glede na nadmorsko višino lokacije, temperaturo okolja in posebne pogoje uporabe.

Aplikacije

Ta sistem je zasnovan za neprekinjena-procesna okolja, ki določajo stroge omejitve za plinaste onesnaževalce:

• Izdelava 12-palčnih/8-palčnih rezin – čistilni in nosilni plin za difuzijo, CVD, jedkanje in ionsko implantacijo.
• Napredno pakiranje (bumping, TSV) – nadzor atmosfere v reflow pečeh za zmanjšanje oksidacije spajk.
• Sestavljeni polprevodniki (SiC, GaN) – nosilec in plin za redčenje med epitaksialno rastjo.
• Litografija in izdelava-mask – čistilni plin za globoke-UV optične poti, da preprečite, da bi absorpcija kisika spremenila energijo izpostavljenosti.
• Alternativa bencinski črpalki za razsuti tovor – služi kot osrednja enota-plinarne na kraju samem, ki nadomešča dobavo tekočega dušika ali visoko{1}}tlačne jeklenke.

Certifikati, obseg dostave in prilagajanje

• Kode načrtovanja: ASME VIII-1 / GB/T 150, HG/T 3186 za tlačne posode; cevovod po B31.3.
• Električno in nevarno območje: na voljo s skladnostjo razreda I Div 2 ali ATEX Zone 2; krmilni sistem z redundanco SIL 2.
• Možnosti dostave: Popolnoma nameščene-enote (hladilna škatla, turboekspander, čistilec in krmilniki, predhodno sestavljeni na jekleno podlago) ali razsute-komponente za mesta z omejitvami dviga.
• Customization: Column height and heat exchanger surface can be adjusted for high-altitude (>1500 m) ali okoljih z visoko-temperaturo; posebne meje-točke rosišča ali sledi-nečistoč je mogoče prilagoditi s prilagojenimi destilacijskimi cikli.
• Paket dokumentacije: P&ID, risbe splošne ureditve, električne sheme, priročniki za delovanje in vzdrževanje, povzetek HAZOP, protokoli FAT/SAT in poročila o preskusih.

Podpora in po-prodaja

• Oddaljeno spremljanje: Standardni IoT prehod s povezljivostjo Modbus TCP z DCS ali SCADA obrata; varnostno kopiranje podatkov v oblaku (izbirno na-premičnem strežniku).
• Rezervni deli: 3- do 5-letni kompleti rezervnih delov, ki zajemajo ležaje turboekspanderja, molekularna sita in tesnila ventilov, dobavljeni skupaj z glavno opremo.
• Storitve na terenu: nadzor namestitve, zagon-in zagon, usposabljanje operaterjev (učilnica + praktično-) in letno preverjanje delovanja.
• Garancija: 12 mesecev od prevzema za celoten sistem; hladne-komponente turboekspanderja podaljšan na 24 mesecev.

Shenger Gas prinaša polne-hišne zmogljivosti pri kriogenem pridobivanju dušika-od simulacije procesa destilacije in hidravličnega izračuna notranjih delov kolone do analize napetosti v hladni škatli-, ki jo je dokončala naša ekipa inženirjev. Vsaka enota je pred odpremo podvržena-preskušanju delovanja pri polni obremenitvi. Za polprevodniške aplikacije nudimo dodatne vmesnike za-linijski nadzor delcev in integracijo sledi-analize nečistoč, kar zagotavlja, da je kakovost dušika sledljiva in preverljiva v celotni proizvodnji. Za nadaljnjo razpravo o specifičnih stopnjah čistosti, nihanjih pretoka ali omejitvah postavitve lokacije je naša skupina za tehnični inženiring na voljo za posvet.

Priljubljena oznake: proizvodnja kriogenega dušika za polprevodnike-, Kitajska za proizvodnjo kriogenega dušika-za polprevodnike, proizvajalci, dobavitelji, tovarna